結晶プラント価格サファイアal2o3単結晶基板

サファイア基板は、格子の不整合が少なく、化学的および物理的特性が安定しているため、III-V窒化物,超伝導体および磁性エピフィルムの一般的な基板です。
  • 商品番号。:

    GS-C010
  • 支払い:

    L/C、 Western Union、 D/P、 T/T
  • 製品の起点:

    Anhui, China
  • 最大サイズ:

    Dia300mm
  • オリエンテーション:

    <0001>、<1-110>、<11-20>
  • パッケージ:

    100 clean bag,1000 exactly clean bag
  • 製品の詳細

  • 仕様

  • プロセスフロー

  • 包装

  • 交通手段

  • よくある質問

特徴:

  • サファイア基板は、格子の不整合が少なく、化学的および物理的特性が安定しているため、III-V窒化物,超伝導体および磁性エピフィルムの一般的な基板です.。
  • 方向公差:+/- 0 . 5 deg.C平面方向
  • 研磨面:基板表面は、ra<5Aの特別なCMP手順によってEPI研磨されています
  • 片面研磨
  • パッケージ:各ウェーハは、ウェーハコンテナ付きの100グレードのビニール袋を備えた1000クラスのクリーンルームに梱包されています
  • 注意事項:R面サファイアウェーハはC面に比べて劈開しやすい.注意して取り扱ってください。

典型的なプロパティ:

  • 結晶構造:六角形. a u003d 4.758オングストロームcu003d12.99オングストローム
  • 融点:2040℃
  • 密度:3.97グラム/cm2
  • 成長技術:cz
  • 結晶純度:> 99 . 99%
  • 硬度:9(モー)
  • 熱膨張:7 . 5x10-6(/ oc)
  • 熱伝導率:46 . 06 @ 0 oc , 25 . 12 @ 100 oc , 12 . 56 @ 400 oc(w /(m . k))
  • 誘電率:A軸で〜9 . 4 @ 300K〜C軸で11 . 58 @ 300K
  • 10 ghzでの損失接線:A軸で<2x10-5,C軸で<5x10-5

サファイア(サファイア,はホワイトジェム,分子式al2o3としても知られています)単結晶は優れた多機能材料です.高温耐性,優れた熱伝導率,高硬度,赤外線透過性と優れた化学的安定性.多くの産業分野で広く使用されています,防衛および科学研究(高温赤外線ウィンドウ,など.).同時に,広く使用されています現在の青,紫,白色発光ダイオード(LED)および青レーザー(LD)産業(サファイア基板上にエピタキシャルガリウム窒化物膜が必要)の好ましい基板である単結晶基板材料,を使用しました。 ,は、yシリーズ, laシリーズやその他の高温超電導フィルム,の製造に加えて、重要な超電導薄膜基板.でもあり、新しい実用的なmgb2(二ホウ化マグネシウム)超電導膜(通常は単結晶基板が化学的に腐食している) mgb2フィルムの製造中.).
主なパフォーマンスパラメータ
結晶系
六角形システム
ユニットセル定数
a u003d4.748Åcu003d12.97Å
密度
3 . 98(g / cm3)
融点
2040℃
モース硬度
9
熱膨張係数
7 . 5(x10-6 / oc)
熱伝導率(カロリー/度cm秒)
⊥c
// c
23℃
0 . 055
26℃0.060
77℃
0 . 040
70℃0.041
誘電率
〜9 . 4 @ 300K(A軸)〜11 . 58 @ 300K(C軸)
結晶配向
飛行機
<11-20>
2 . 379a
r面
<1-102>
1 . 740a
m面
<10-10>
1 . 375a
c面
<0001>
2 . 165a
配向公差
±0.5°
通常の寸法と公差
10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
従来の厚さと公差
0 . 5mm , 1 . 0mm
研磨
片面または両面
表面粗さ
ra <5Å(5×5μm)
パッケージ
クラス100クリーンバッグ,クラス1000クリーンルーム
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私たちは工場です.
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